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半导体尾气处理塔的作用(半导体尾气处理塔的用途有哪些)

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半导体行业废气按照其废气处理工艺分为:酸性废气处理(SEX)、碱性废气处理(AEX)、有机废气处理(VEX)和一般排气(GEX)等,其废气处理系统包括:酸性废气处理设备、碱性废气处理设备、有机废气处理设备等。本文将就上述设备(半导体尾气处理塔)分别介绍其作用。

半导体LOCAL SCRUBBER 尾气处理设备作用

等离子水洗Local Scrubber设备的作用是去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

LOCAL SCRUBBER

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半导体酸碱洗涤塔的作用

酸碱洗涤塔的主要作用是用于处理酸碱类无机废气。其设备广泛应用于半导体、电子、PCB、化工、制药、电镀、食品、纺织等众多行业。对制程中产生的具有腐蚀性的工业酸碱废气、臭气和除尘系统的前置处理,净化效果明显。

酸碱洗涤塔

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半导体砷磷烷吸附塔的作用

主要作用用于处理半导体掺杂制程工序时产生的砷烷、磷烷和硼烷有毒有害废气。砷磷烷吸附塔利用化学反应、复分解反应等基本原理,与各种废气产生化学反应,生成稳定的无毒无害的化合物或者复合物,可直接用于修路、垃圾填埋等,不会产生二次污染。

砷磷烷吸附塔

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