4556银河国际(在线VIP平台)官网-APP platform

当前位置:主页 > 行业资讯 > 本文

半导体废气治理有哪些特点?半导体行业废气几大特点介绍

环保领域专家
  • 银河国际网址4556在线平台
  • 擅长:14年废气治理经验,提供方案及设备,助力企业废气达标排放

半导体废气治理有哪些特点?下面就半导体行业废气来源种类,4556银河国际在线公司结合自家公司案例为你分享如下:

一、半导体分立器件、集成电路

1、半导体常见的双极管之一的NPN三极管流程主要工艺有:氧化、光刻、N型外延、基区扩散、发射区扩散、Al金属化、化学气相沉积(CVD)钝化层等步骤,工艺流程与集成电路生产工艺类似。

2、集成电路制造可大致分为各独立的“单元”,如晶片制造、氧化、掺杂、显影、刻蚀、薄膜等。各单元中又可再分为不同的“操作步骤”,诸如清洗、光阻涂布、曝光、显影、离子植入、光阻去除、溅镀、化学气相沉积等。

集成电路

排放源

由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

酸碱废气主要来自于扩散、CVD 、CMP 及刻蚀等工序,这些工序使用酸碱清洗液对晶片进行清洗。目前,在半导体制造工艺中使用为普遍的清洗溶剂为过氧化氢和硫酸的混合剂。这些工序中产生的废气包括硫酸、氢氟酸、盐酸、硝酸及磷酸等的挥发气,碱性气体为氨气。

有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序,在这些工序中要用有机溶液(如异丙醇)对晶片表面进行清洗,其挥发产生的废气是有机废气的来源之一: 同时,在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的有机溶剂,如醋酸丁酯等,在晶片处理过程中也要挥发到大气中,是有机废气产生的又一来源。

有毒废气主要来源于晶体外延、干法刻蚀及CVD 等工序中,在这些工序中要使用到多种高纯特殊气体对晶片进行处理,如硅烷( SiH4) 、磷烷(PH3 ) 、四氟化碳( CF4 ) 、硼烷、三氯化硼等,部分特殊气体具有毒害性、窒息性及腐蚀性。

二、半导体封装

封装指从晶片上切割单个芯片到zui后包装的一系列步骤

半导体封装

 封装工艺产生的废气较为简单,主要是酸性气体、环氧树脂及粉尘。酸性废气主要产生于电镀等工艺;烘烤废气则产生于晶粒粘贴、封胶后烘烤过程;划片机在晶片切割过程中,产生含微量砂尘的废气。

以上就是《半导体废气治理有哪些特点?半导体行业废气几大特点介绍》的全部内容,如您有废气处理需求,即刻联系我们吧!期待与您的合作。


提示:本网部分已发布的信息内容可能存在过时,请注意辨别。部分内容整理为互联网/转载官方发布,相关信息仅为传递更多信息之目的,不代表本网观点,不拥有所有权。如有侵权联系删除。

半导体厂尾气处理方法有哪些?半导体尾气成分及工艺及处理器

一想到半导体行业,大家想到的是机械生产,高端材料,电子电器,与污染两个字似乎也没有什么关系。但事实上,半导体生产过程中使用了大量有机物和无机物,包括许多有毒有害物质,对环...

半导体废气净化设备是什么?半导体尾气处理的设备有哪些?

随着数字时代的飞速发展,半导体芯片现已广泛应用于各个L域,给人们的工作与生活带来了极大的便利。但同时随着半导体制造企业的快速发展,给环境带来了一定的空气污染,必须通过废气...

半导体行业废气排放标准是什么?国家半导体厂环保废气处理排

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了...

半导体风管FM认证企业(半导体FM工艺排风管)

半导体风管FM认证企业,通常具备国家强制性产品FM认证标志。下面是半导体风管FM认证企业介绍及半导体FM工艺排风管。...

半导体行业大气污染物浓度测定方法标准有哪些(半导体大气污

半导体行业废气废水处理检测是否达标排放,关键在于对其污染物浓度的测定,主要包括两个方面,即半导体行业大气污染物浓度测定和水污染物浓度测定。那么,半导体行业污染物浓度测定方...

半导体行业污染物排放标准新的限值(江苏省和上海市半导体行

为了规范半导体行业污染物排放,江苏省和上海市先后制定了半导体行业污染物排放标准,且经过多次修订及完善。那么,您了解半导体行业污染物排放标准新限值是多少?...

半导体废气处理哪家好?半导体废气处理哪家公司服务好?

随"芯"而生,同"芯"发展。4556银河国际在线,半导体行业废气治理环保达标和生产稳定运行守护者!银河国际网址4556在线平台是一家集环保咨询、研发设计、加工制造、设备销售、系统集成、智慧运维于...

半导体尾气处理塔的作用(半导体尾气处理塔的用途有哪些)

半导体行业废气按照其废气处理工艺分为:酸性废气处理(SEX)、碱性废气处理(AEX)、有机废气处理(VEX)和一般排气(GEX)等,其废气处理系统包括:酸性废气处理设备、碱性废气处理设备、有机废...

半导体有机排气成分有哪些(废气种类介绍)

半导体有机排气是半导体制造过程中产生的一种废气。那么,半导体有机排气成分有哪些?本文为您提供的是半导体有机废气种类介绍。 半导体有机排气成分有哪些 半导体有机排气成分如下: 半...

半导体含砷废气处理方法(半导体含砷废气如何治理)

半导体行业在芯片制程工艺中,因其不间断使用有机溶剂和酸溶液直接产生了大量的有毒有害的废气,且需经过废气处理达标后才能高空排放。本文将介绍半导体含砷废气处理方法。...

XML 地图