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硅烷燃烧塔工作原理(硅烷燃烧塔操作及维护注意事项)

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为满足太阳能、光能行业,半导体行业即CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化,硅烷废气可使用不锈钢硅烷燃烧塔。

硅烷性质

硅烷也称矽烷,化学分子式SiH4的一种化合物,该气体无色无臭,密度1.44克/升,熔点-185℃,沸点-111.8℃,不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃气体,在空气中无需加火源,硅烷就可以自然,生成二氧化硅和水,并放出大量的热量,可被一般氧化剂氧化。

硅烷燃烧塔原理

硅烷燃烧塔通常采用优质不锈钢原料进行制造,根据硅烷与空气接触而自燃的特点,使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧,燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室,经过喷雾处理,使废气与中和循环液接触反应,然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。

硅烷燃烧塔

硅烷燃烧塔操作及维护注意事项

  1. 不锈钢硅烷燃烧净化塔要保证负压在200帕左右;
  2. 设备真空泵后面必须加应急燃烧筒; 
  3. 不锈钢硅烷燃烧塔必须采用双风机抽风,一个使用一个备用; 
  4. 硅烷燃烧净化装置必须加装调节阀; 
  5. 风机进风口的电动调节阀必须与风机联动。

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